真空热处理是真空技术与热处理技术相结合的新型热处理技术，真空热处理所处的真空环境指的是低于一个大气压的气氛环境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空，真空热处理实际也属于气氛控制热处理。真空热处理是指热处理工艺的全部和部分在真空状态下进行的，热处理质量大大提高。

真空热处理包括真空淬火、真空退火、真空回火和真空化学热处理等。

与常规热处理相比，真空热处理的同时，可实现无氧化、无脱碳、无渗碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脱脂除气等作用，从而达到表面光亮净化的效果。

工艺特点

与常规热处理相比，真空热处理具有以下特点：

1、可以减少工件变形。在真空环境中加热，升温速度很慢，工件变形小。据国内外经验，工件真空热处理的畸变量仅为盐浴加热淬火的三分之一。

2、可以净化表面。实现少无氧化和少无脱碳加热。在高真空中，表面的氧化物、油污发生分解，工件可得光亮的表面，提高耐磨性、疲劳强度。防止工件表面氧化。

3、真空脱气作用。有利于提高金属材料的物理性能和力学性能，提高工件的使用寿命。

4、真空脱脂作用。